胡树国 张体强

(中国计量科学研究院，北京 100029)



一种微痕量气体分析进样前处理方法的探讨*

胡树国 张体强

(中国计量科学研究院，北京 100029)

本文介绍了利用高真空系统对微量及痕量气体分析时进行前处理的一种方法，通过该方法可以减少样品气的消耗量并且可以很大程度上缩短分析的时间。以放电离子色谱检测高纯氦气中杂质和光谱法分析高纯氮气中痕量水分为例，对比使用方法前后的数据，验证了方法的可行性。

微量；痕量；前处理；高真空系统

0 引言

在气体分析领域，微量及痕量气体分析是非常重要也是非常困难的[1-5]。在对高纯气体纯度进行分析时，由于高纯气体的纯度一般都大于99.999%，通常是检测其杂质含量，通过差减法来确定高纯气体的纯度。高纯气体中的杂质的含量一般都在微量甚至痕量水平，检测这些杂质含量不仅要使用高灵敏度的仪器，而且需要在分析前对进样进行必要的前处理，否则可能得不到真实的测量结果。因为，在检测的微痕量杂质气体中，有一些是空气中含量非常高的气体，在气体分析过程中，空气中的这些气体会干扰测量，从而导致出现测量结果的偏差。例如，空气中含有大量的氮气、氧气和水分，在测量高纯气体中微量的氮气、氧气和水分含量时，如果进样管路和阀门等不做前处理，会严重干扰检测结果。

文中将介绍一种针对分析高纯气体中微量及痕量杂质气体时，进样前处理的一种方法。……