李从生，冯薇薇，彭宁，王延深

(1.哈尔滨工业大学计算机科学与技术学院，山东威海 264209;2.哈尔滨工业大学船舶与海洋工程学院，山东威海 264209)

0 前言

激光加工技术已成为工业生产自动化的关键技术，其拥有普通加工技术所不能比拟的优势。例如激光加工为非接触式加工、速度快、无噪声、可实现各种复杂形状的高精度加工目的，且无通常意义上的“刀具”磨损，无需更换“刀头”。

激光加工需要一个优良的成像系统，用来辅助加工、测量、检测，而调焦系统作为光电成像系统、机器视觉系统的关键装置，在监控生产过程、检测工况、地质遥感和军事遥感等等方面都应用广泛。无论哪个成像系统，都会遇到对焦的问题，如果仅依靠操作人员的主观判断来完成成像系统的调焦，很容易带来一定的人为误差，而且自动化程度低。

所谓自动对焦是指利用物体光反射的原理，将反射的光被结构上的传感器接受，通过计算机处理，带动电动对焦装置进行对焦的方式叫自动对焦。随着激光加工的迅速发展，自动对焦平台受到人们的广泛关注，并且，有些学者已经开始研究大行程自动对焦平台［1-4］。

由广东工业大学发明的专利基于多平台的超精密自动对焦系统［5］，采用激光自动对焦系统与传感器相结合，在Z方向上有大行程精密调节机构，调节范围是100 μm，重复定位精度是6 nm，它是基于电子、机械装置以及图像处理等手段设计的自动对焦的装置，可实现快速对焦，但是程序繁琐。……