薛战理，俞 兵，吴 沛，韩占锁，秦 艳，陈 娟，李宏光

（西安应用光学研究所，陕西 西安710065）

引言

在激光测距、制导等领域，为了测量测距仪的灵敏度，评判导引系统的作用距离，需要对探测系统所感知的激光能量和功率进行连续衰减，并能准确复现所要求的衰减比；在光通信等普适性光探测活动中，为了测量激光探测器的响应特性，需要对所用激光器的光强进行连续衰减，同样要求能准确复现所需的衰减状态。高准确度衰减比连续可调激光衰减器，正是为满足此类应用而提出的。国内外相关专家在激光衰减器研制领域进行了许多工作，美国NIST（美国国家标准技术研究院）在脉冲激光低能量校准活动中，采用多级反射式楔形分束器作为可变衰减比调整装置［1］，此衰减器衰减比为有限的分立值。NIST研制了一种具有六镜面反射的衰减器［2］，衰减比也为固定值。美国Newport公司利用晶体偏振器件，研制了一种衰减比连续可调的器件［3］。国内北京理工大学高雪松等人提出一种利用多块楔形棱镜衰减器结合中性玻璃衰减器组成的高精度衰减系统，可在一定程度上实现定量衰减［4］。曲阜师范大学刘云安等人利用偏振棱镜和1／4波片，获得了光强连续可调的圆偏振光［5］，该校李国华等人利用偏振干涉原理研制了一种由3个偏光棱镜和1个1／4波片组成的光强连续变化的衰减器［6］。中国计量科学研究院吕正等人利用2块相向移动光楔片，构建了一种双光楔补偿激光衰减器，该器件在使用中要考虑消除相干光干涉条纹的影响［7］。……