谢世斌，杨甬英，刘 东，李 阳，李 晨，赵丽敏

（浙江大学 光电系，现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州310027）

引言

随着精密光学元件的大量运用，对于表面质量的高精度检测也显得日益重要。划痕、麻点等表面疵病也成为光学质量检测中越来越重要的部分。在强激光和短波光学系统中，光学元件表面疵病严重影响着整个系统的性能。例如，在惯性约束聚变系统中，强激光经过多个精密光学元件，疵病的存在将对整个系统的正常运行造成破坏性的影响［1－3］。目前，对于光学元件表面疵病的检测，主要是通过人工目视的方法进行判定。人工目视的方法容易受到人为因素的影响，主观性强、检测效率低［4－6］。相比于人工判定，客观精确的数字化判定更加适用于精密光学元件表面疵病的高精度检测。判定光学元件合格与否的主要依据是其检验标准，采用一套权威、通用的标准对光学元件表面疵病进行数字化的判定将有利于各企业乃至国际间的交流，对整个光学行业有着重要的意义。美国作为光学强国和军事强国，其制定的美国军用标准 MIL－PRF－13830B（下文简称美标）也得到光学行业的广泛认可。基于显微散射暗场成像系统，采用美标对光学元件进行判定，可实现表面疵病美标数字化评价，其难点主要在于美标中表面疵病密集度的判定。因而，本文在已经建立起来的表面疵病检测系统的基础上，提出了一种表面疵病密集度的判定方法，以实现光学元件表面疵病的美标数字化评价。……