李国涛，赵兴雷，马 瑞，翁 力

（北京低碳清洁能源研究所， 北京 102209）

三甲基镓的制备提纯技术研究进展

李国涛，赵兴雷，马 瑞，翁 力

（北京低碳清洁能源研究所， 北京 102209）

三甲基镓是应用金属有机化学气相沉积工艺生产光电材料的关键原料。目前，我国仍需从国外大量进口三甲基镓产品，因此有必要分析三甲基镓的合成制备及分离提纯技术的研发现状，从而进一步促进相关技术的研发进程。总结了三甲基镓的合成制备技术和分离提纯技术的研究现状，分析了各种技术的优缺点，并提出针对三甲基镓的制备提纯技术的工程放大研究是各种实验室新技术实现工业化生产应用的关键。

TMG; MO源; 提纯; 镓镁合金; 三甲基镓

MO源，即金属有机化合物，是光电半导体材料行业等领域的重要金属来源，是MOCVD工艺（即金属有机化学气相沉积工艺）等工艺技术生产制备合成新型半导体光电化合物材料的基础源材料[1]。这些新型光电化合物材料被广泛应用于太阳能电池和超导激光器等高新技术领域，在国防军事通讯和航空航天工业中具有极其重要的作用，因此MO源金属有机化合物的制备提纯为目前国际上研究的热点领域。

三甲基镓（Ga(CH3)3，TMG）是MOCVD工艺技术生产光电材料如氮化镓等的关键MO源原料，为MO源化合物中应用最广泛的金属有机化合物。目前国外三甲基镓制造商主要有 Akzo Nobel、High Purity Metalorganics、Rohm and Haas Electronic Materials LLC等公司[2,3]，而与国内厂家相比，产品的质量及产量均具有很大的优势。目前，我国相关产业如MOCVD外延材料以及发光二极管LED仍需大量进口三甲基镓原材料，而其原料市场价格却高达数万元一公斤，这势必会增高国内相关厂商的生产成本，并且限制相关企业的产品开发以及产业发展[3]。……