李超杰，王伟文,2，张自生,2

（1. 青岛科技大学 化工学院， 山东 青岛 266042； 2. 青岛科技大学 生态化工国家重点实验室， 山东 青岛 266042）

综合评述

流化床法制备多晶硅过程研究进展

李超杰1，王伟文1,2，张自生1,2

（1. 青岛科技大学 化工学院， 山东 青岛 266042； 2. 青岛科技大学 生态化工国家重点实验室， 山东 青岛 266042）

介绍了国内外对于流化床法制备多晶硅过程中无定形硅粉成核机理、反应器加热方式的研究。随着研究的不断深入，经典成核理论与基于聚合反应的成核机理已成为目前两种比较成熟的机理，但同时又存在着缺陷。为了抑制壁面硅沉积的发生和无定形硅粉的形成，研究者先后提出外加热、内加热、微波加热等加热方式及相应的流化床反应器结构。

流化床；化学气相沉积；无定形硅粉；加热方式

多晶硅是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，若这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅按纯度分类可以分为太阳能级和电子级，前者是生产太阳能光伏电池的基础材料；后者主要用于半导体工业和电子信息产业。随着石化能源的逐渐枯竭和环境问题的日益突出，寻找一种符合可持续发展战略的清洁可再生资源代替石油化学资源的趋势越来越明显。由于太阳能发电的安全性、清洁性、充足性，光伏产业近年来以每年 15%～30%[1]的增长速度快速发展，其对多晶硅的需求量也日益增加。……