离子注入属于物理气相沉积范围，是将所需物质的离子在电场中加速后高速轰击工件表面，并使之注入工件表面一定深度的真空处理工艺。离子注入将引起材料表层成分和结构发生变化，以及原子环境和电子组态等微观状态的扰动，因而导致了材料的各种物理、化学和力学性能的变化。离子注入表面改性特征如下:1)采用离子注入法可能获得不同于平衡结构的特殊物质，是开发新型材料的非常独特的方法。2)离子注入温度和注入后的温度可以任意控制，且在真空中进行，不发生氧化，不变形，不产生退火软化现象，表面粗糙度一般无变化，可作为最终处理工艺。3)可控性和重复性好。4)可获得两层或两层以上性能不同的复合材料，复合层不易脱落，注入层薄，工件尺寸基本不变。目前离子注入工艺已应用于许多工业部门，尤其是在工具模具制造业效益突出。