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MgAl/PbPc/Cu有机薄膜二极管的制备与气敏特性分析

2015-01-04王东兴等

哈尔滨理工大学学报 2014年4期
关键词:测试仪二极管器件

王东兴等

摘要:选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料,用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件,所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/cu,使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性,通过对电流一电压特性的实测数据进行深入的理论分析,比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度。endprint

摘要:选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料,用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件,所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/cu,使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性,通过对电流一电压特性的实测数据进行深入的理论分析,比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度。endprint

摘要:选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料,用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件,所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/cu,使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性,通过对电流一电压特性的实测数据进行深入的理论分析,比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度。endprint

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