刘玉欣， 李殿来， 杨明武

（合肥工业大学 电子科学与应用物理学院，安徽 合肥 230009）

0 引 言

随着电路集成技术的发展，电路集成度越来越高，产品小型化趋势不断加强，但紧凑的器件及连线导致设备电路系统电磁干扰严重，电磁污染较大。为此，世界各国及地区制定了相应EMC检测标准，要求相应产品在投放市场前必须通过EMC检测标准［1］。为了使研发产品顺利通过EMC评估，缩短研发周期，电路设计工程师需要用电磁场近场扫描仪对集成电路近场进行EMI检测及电路的诊断。近场探针是近场扫描仪器探测的关键器件，探针的分辨率及耦合性能决定探测结果的准确性，通过探针能够准确定位电磁辐射源，检测电路的不连续和定位电路缺陷［2－3］。应用在近场扫描仪上的探针分为电场探针和磁场探针，电场探针的原理是基于测量高频电路的表面电场，磁场探针的原理是基于测量高频电路的表面磁场［4］。测量高频电路时，磁场探针得到了广泛研究与应用［5］。但用磁场探针测量存在一定的限制，需要待测电路有较强辐射电流［6］。当辐射电流相对较小，待测体布线密集情况下，探针的灵敏度及空间分辨率不能满足要求，近电场探针将取代磁场探针［6］。

本文探讨的近电场法向电场探针，用于测量高频电路近场的法向电场信息。首先根据电场耦合分析探针工作原理，然后由软件仿真得出探针的仿真数据，最后根据仿真数据、实验数据分析探针测量误差产生的原因及分辨率。……