夏 怡， 张晓林， 申 晶

(北京航空航天大学 北京 100191)

引 言

在航空航天领域中，无论是飞机和发动机的自动监测控制，还是自动寻的和导航，都需要传感器提供各项敏感参数，为航天器的安全飞行和航天员的安全保驾护航，而采用新材料、新工艺、新技术对传统的航天传感器进行改进和发展，是航天测控传感器发展的重要方向。比如将柔性电子传感器用于机身机翼蒙皮，可在飞行过程中传递具体的局部信息，通过对航空航天复合结构的健康状况(如温度、应变、损伤、疲劳等)进行实时监测，来预测结构内部的损伤及剩余寿命，同时做好对航天员体液生化指标的在线检测与监测工作，尽可能消除隐患，减少灾难性意外事故的发生。

柔性电子作为一个新兴的研究领域，已在某些方面取得了一定的成果。国内外针对柔性电子材料制备、柔性电子器件设计与应用等方面已开展了大量的基础研究工作[1]，目前世界上最快的硅柔性晶体管截止频率可达5GHz[2]。柔性电子与传统电子技术最根本的区别在于以柔性基板代替刚性基板，其设计难点是要在大形变下仍保持结构和功能的完整性，这主要取决于电子电路的结构形式、材料以及两者的优化匹配[3]。目前实验研究的柔性电子系统的元器件和产品尺寸较少涉及微电子层面，且普遍偏重于对材料力学性能(如延展性)的研究。产品在性能上也远不及传统方式制作的硅芯片，运行速度甚至相差了几个数量级。……