沈 颖

(重庆科技学院机械与动力工程学院，重庆 401331)

0 前言

在大口径非球面镜类大型光学器件抛光加工过程中，计算机控制应力盘抛光技术显示了其巨大的优越性［1］。为了匹配镜面各处不同曲率，应力盘可连续进行弯曲控制。根据应力盘在镜面上的位置和角度不同，控制系统能将应力盘面形变成相应的离轴非球面形状。由于应力盘曲率大小跟其在非球面镜上的位置和方向有关，因此当应力盘在镜面上移动和旋转时，采用传统加工技术的大型抛光盘面形无法与理想非球面镜面形保持一致。相对于传统抛光方法，采用计算机控制应力盘抛光技术的能动应力盘抛光能够大大提高产品加工效率和成品率，可保证非球面镜表面光滑度和边缘完整性［2］。

但由于应力盘模型的不确定性和高度非线性，特别是对大离轴非球面镜在光学抛光加工中的高性能要求，在控制过程中还面临许多难题需要解决。在计算机控制抛光加工过程中，建立精确的应力盘表面模型并用于其面形控制是整个控制过程中的一个关键环节。

为实现应力盘抛光计算机控制，本次研究重点讨论应力盘面形建模问题。首先，提出一种用于应力盘抛光加工计算机控制系统，讨论面形控制系统结构及面形数据测量方法;其次，建立基于RBF神经网络的应力盘面形模型，利用该模型能精确地反映在驱动力输入信号作用下应力盘的动态变形过程。在应力盘建模过程中，通过改变弯矩电机产生的驱动力大小来连续改变应力盘面形，采集建模所需要的数据集，并进行了仿真实验。……