石何武 杨永亮 汤传斌 肖荣晖 严大洲

(中国恩菲工程技术有限公司, 北京 100038)

多晶硅副产物二氯二氢硅的应用研究

石何武 杨永亮 汤传斌 肖荣晖 严大洲

(中国恩菲工程技术有限公司, 北京 100038)

主要针对多晶硅生产过程的副产物二氯二氢硅在还原、氢化、反歧化等工序中的应用进行研究，以期通过合适的处理方法提高多晶硅生产过程中的原料利用率并进一步降低多晶硅的生产成本。

多晶硅; 二氯二氢硅; 反歧化; 冷氢化; 还原

多晶硅作为信息化产业和太阳能光伏产业的基础原材料，在现代能源领域有着不可替代的作用。改良西门子生产工艺所产多晶硅占多晶硅市场份额的85%以上[1]。随着生产技术水平的不断提升，其流程得到进一步的优化，能耗逐步降低，但该生产工艺过程中的三氯氢硅合成、四氯化硅氢化以及三氯氢硅还原等工序均会产生一定量的副产物二氯二氢硅。二氯二氢硅化学性质活泼，危险性极高，表现为易燃易爆，与空气混合后在很宽的浓度范围内均可爆炸，是多晶硅生产中最危险的过程产物之一[2]。如何有效地处理二氯二氢硅是多晶硅生产企业最为关注的焦点。很多企业采用简单的水解、中和等措施无法有效地处理二氯二氢硅。造成硅、氯等元素损失的同时还存在很大的安全隐患并对环境造成污染。

本文主要研究二氯二氢硅的有效回收利用，旨在提高多晶硅生产过程中硅、氯等元素的利用效率从而有效降低多晶硅生产成本和物料消耗。……