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基于激光扫描共焦显微技术的刀具刃口精密测量*

2014-08-16宋树权左敦稳赵世田

华南理工大学学报(自然科学版) 2014年7期
关键词:测量

宋树权 左敦稳 赵世田

(1.南京航空航天大学 机电学院,江苏 南京 210016;2.盐城工学院 机械学院,江苏 盐城 224051)

在切削加工过程中,不同的刀具刃口半径会产生不同的切削力、刀具磨损以及工件表面质量,是影响刀具切削性能的重要因素之一[1-3],因此高速及微细切削加工刀具刃口效应研究成为热点[4].而要评价切削过程中的刃口效应,刀具刃口精密测量及表征是基础.

目前常用的刀具刃口测量方法有投影放大法、光切法、复印法、扫描电镜(SEM)法和原子力显微镜(AFM)法等[5-8].这些方法各有优缺点,其中投影放大法、光切法和复印法受到测量原理及设备的影响,测量精度不高.SEM 法的观测精度较高,但须截取刃口断面,是一种破坏式测量方法[9];AFM 法测量分辨率较高,可用于金刚石亚微米/纳米尺度的刃口测量,但对操作环境要求高,刃口对准困难[10].激光扫描共焦显微镜(LSCM)采用共轭焦点技术成像,克服了传统光学显微镜对被观察物体一定纵深范围的结构都加以成像的缺点,把物体分为若干光学断层,逐层扫描成像,层与层之间有高的纵深分辨率,成像图像清晰.LSCM 是理想的三维显微成像系统,目前在机械加工粗糙表面三维数字化表征领域得到了广泛应用,可以用来精密测量物体表面三维轮廓[11-13].文中将LSCM 应用于刀具刃口的非破坏式精密测量,建立可行的测量流程及数据处理方法,分析角度块倾角及数据处理对测量结果的影响,并对测量结果进行标准不确……

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