李 静

（晋中职业技术学院，山西晋中030600）

引言

随着微电子技术的迅速发展,微机械加工技术快速提高，加工出具有微型化、集成化、智能化、功能多样化、能耗低、灵敏度高、工作效率高微机电器件，广泛应用军事、航空航天、医疗、汽车、工业控制环保、生活用品等领域。由于微机电器件应用广泛、需求量大，需要量化生产，就需要制作相应的微模具，通过微模具成型微器件，此外微模具成型器件的生产工艺和产品质量易控制。目前可以用来加工微模具的加工技术有LIGA模具制作技术，硅体微加工技术、光学光刻和激光烧蚀模具制作技术、机械微加工模具制作技术、微电火花模具加工技术等。

一、LIGA技术在微模具制作中的应用

（一）LIGA 技术的原理

LIGA技术是利用较大功率同步加速器产生的X射线，经过X-ray光刻，光阻投影形成人工塑料微型结构，然后经过电铸制模形成金属模具，最后经过铸模复制形成所需的塑料产品。其工艺流程为：

1、同步X-ray曝光

光刻的条件有同步X射线和铜掩模板，铜掩模板由吸收体、掩膜支撑体、光刻胶和铜板基片组成，利用同步辐射X射线产生的二维图形投射到铜掩模板，吸收体吸收X射线的能量，转移到光刻胶上，通过控制单点光束的强度，刻蚀一定深宽比的三维图形。

2、光刻显影

利用光刻胶易被X射线降解的原理，即经过X射线曝光光刻胶的分子长键发生断裂，大分子变成小分子，然后将被曝光的光刻胶放到显影液中处理，被曝光降解的光刻胶的小分子溶解在显影液中，没有被曝光的光刻胶的大分子则不溶于显影液，因此形成了与掩膜图形一致的三维光刻胶微结构。……