叶相平

（佛山市华特气体有限公司，广东佛山 528244）

·分析与测试·

浅述高纯气体中微量水的分析

叶相平

（佛山市华特气体有限公司，广东佛山 528244）

叙述了化工生产中电容法分析六氟化硫、四氟化碳，压电晶体法分析超纯气体，光腔衰荡光谱法测定超纯氨中的微量水含量的方法，通过在实验及工作中发现用这三种方法分析高纯气体的水含量可行，能满足产品生产监测的需要。

微量水分析；电容法；压电法；光腔衰荡光谱法

1 概 述

随着高新技术产业的发展，高纯气体的需求量逐渐增加。高纯气体在大规模集成电路的研究和生产、高纯金属的冶炼和处理、太阳能光伏产业等各领域都有着广泛的应用。高纯气体中的水分含量是影响气体质量的重要指标，是影响用气产品质量的重要因素之一。因此，需要严格控制高纯气的水分含量。本文结合我司工艺生产的具体实际情况，简略论述电容法、压电法及光腔衰荡光谱法检测高纯气中水含量原理及其在实际工作中的应用。

2 采样及气路连接的要求

2.1 采样前注意事项

高纯气体中微量水的分析对操作要求非常高，环境湿度、管线接头、采样阀及测量流量对测量结果都有影响，所以一般在室温15～28℃，湿度40%～70%的洁净环境下测定；选用死体积小的针阀或减压器，管线选用内径1/16 in或1/8 in的内壁内抛光的、尽可能短、管壁无吸附的不锈钢管；测量时气体流量一般控制在400～1500 mL/min，具体应结合仪器的相关参数。

2.2 气路连接

用高纯气吹扫置换方式使微量水分仪器、减压器、采样管线长时间受气体保护，保证取样系统的干燥，气路连接方式见图1。……