杨淑连，宿元斌，何建廷，魏芹芹，盛翠霞，申 晋

（山东理工大学电气与电子工程学院，淄博255049）

位置敏感探测器测量准确度的研究

杨淑连，宿元斌，何建廷，魏芹芹，盛翠霞，申 晋

（山东理工大学电气与电子工程学院，淄博255049）

为了研究噪声光对位置敏感探测器测量准确度的影响，首先对3种噪声光进行了描述，然后运用方差分析法建立了位置敏感探测器测量准确度的数学模型，并对系统的误差进行了分析。结果表明，实验数据和计算数据是一致的，此实验结果证明了该数学模型的正确性。

探测器；横向光电效应；背景光；测量准确度

引 言

在自动化工业生产中，光电位置敏感探测器（position sensitive detector，PSD）被广泛用于和其它光源共存的环境中，在这样的环境中，PSD直接或间接地受到噪声光的影响，这些噪声光可能是来自各个表面的散射光和反射光等［1-3］。这些随机的噪声光源包括定向的光源、点光源或扩展的光源，它们以不同的空间分布照射在探测器的表面。这些直射或反射光与信号光同时照射在探测器的表面时，就会对探测器产生不良的影响［4-7］。因此，PSD的响应就不可避免地受到这些噪声光的干扰。本文中针对各种外部噪声光源对PSD的影响建立模型，并对噪声光对PSD准确度的影响进行分析。

1 无噪声光时PSD的测量准确度

PSD一般分为1维和2维两种形式，1维和2维PSD的基本原理是一样的，即基于半导体的横向光电效应。PSD正是基于该特性实现了对目标位置的测量。为了简化问题，仅讨论1维情形。……