柏占伟， 谢志江， 袁晓东

（1.重庆工程职业技术学院机械工程学院，重庆 400037； 2.重庆大学机械传动国家重点实验室，重庆 400044；3.中国工程物理研究院激光聚变中心，四川绵阳 621900）

影响激光驱动器注入镜组特性的误差因素分析

柏占伟1， 谢志江2， 袁晓东3

（1.重庆工程职业技术学院机械工程学院，重庆 400037； 2.重庆大学机械传动国家重点实验室，重庆 400044；3.中国工程物理研究院激光聚变中心，四川绵阳 621900）

研究了惯性约束大功率激光聚变驱动器注入镜组特性影响因素，分析表明透镜的几何尺寸公差、透镜装配公差和镜组在线安装公差等因素对镜组焦距公差、焦斑分布、波像差方面的特性影响较大。针对影响镜组特性的主要因素，建立了镜组特性影响分析的相关数学模型，并基于Matlab和Zemax软件平台对模型进行模拟计算，结果表明数学模型可以保证镜组特性需要的制造、安装公差。

计量学；注入镜组；特性影响因素；焦距公差；波像差；模拟计算

1 引 言

惯性约束高功率激光聚变驱动器具有总体规模大、指标精度高、负载强度高等特点［1］。为了满足惯性约束聚变打靶的需要，对光束及远场焦斑质量有很高的要求［2，3］。其中，驱动器系统的固有像差是影响输出光束远场焦斑主要因素之一［3］。就像差因素而言，设计光学元件的曲率半径对降低系统的固有像差，提高远场光束质量是非常有意义的［4］。因为激光聚变驱动器装置中每个环节设计、制造、安装公差都不同程度地影响终端输出结果的精度和特性。……