（中国海洋大学信息科学与工程学院，山东 青岛 266100）

北斗卫星导航系统体声波滤波器设计

王 帅 徐凌伟

（中国海洋大学信息科学与工程学院，山东 青岛 266100）

随着无线通讯市场对微型化通信设备需求的增长，普通的声表面波滤波器已经无法满足集成化需求，一种具有更高谐振频率和稳定性的体声波滤波器应运而生。本文以薄膜体声波滤波器为模型，在ADS仿真基础上设计出了适用于北斗B1频点的窄带滤波器。滤波器频带范围为1550Mhz～1570Mhz，带外抑制48．8dB，插损3．1dB可以有效屏蔽GPS L1频段信号的干扰。

体声波滤波器；氮化铝材料；梅森模型；北斗导航系统

随着无线通信技术的发展，通信设备对频带的需求日益激增，宽频带通信已经逐渐被碎片化的窄带通信所代替，较小的带宽对滤波器的漂移和滚降提出了更高的要求。同时，随着通信电子类产品微型化、集成化的发展趋势，传统滤波器滤的应用已受到体积的制约。作为曾经大规模应用的声表面波滤波器，其制作工艺和材料决定了它功率低且无法与半导体衬底集成，制约了通讯产品的微型化进程。薄膜体声波谐振器（FBAR）自1965年研制成功以来，它的高频率、高功率容量、低功耗与微型化的体积逐渐受到人们的关注。2000年，安捷伦公司研制成功基于AlN的FBAR双工器，一举占领美国双工器市场，FBAR成为滤波器行业性的热点。

本文采用AlN薄膜为主要材料。通过ADS仿真软件对电极层、压电层、衬底层进行建模和联合仿真。成功设计出适用于北斗二代卫星导航系统B1频点的前端滤波器。……