张健伟 骆延平 钟冠明 李扬明

【摘要】光学粒子计数器是用于测量洁净环境空气中粒子数量及尺寸的仪器，具有价格低廉、快速可靠、高灵敏度的特点，在需要超净间的行业有着重要的应用。本文简述光学粒子计数器的主要原理及设计的注意要点，讨论其重要性能参数，通过与国际高端同类产品比较，分析国产粒子计数器的不足并对下一步发展提供指导。

【关键词】光学粒子计数器;Mie散射;信号处理

Abstract：Optical Particle Counters（OPCs）is a set of monitoring equipment used to measure the quantity and size of airborne particles in the clean room.With advantage of low coat，quick and high reliability as well as high sensitivity，the OPCs are widely applied in many fields that need ultra-clean space.This paper elucidates the key points of the main principle and design of the OPCs，discussing important performance parameters.By comparing the OPCs with    international high-end like product，we analyze the shortfalls of domestic OPCs and provide guidance for next development.

Key word：Optical Particle Counter;Mie Scattering;Signal processing

隨着现代加工工艺及材料科学的发展，以微电子、生物医学工程、航天技术等为代表的领域正逐步向小型化方向迈进，同时对相关操作、生产环境的空气洁净度提出了较高的要求。光学粒子计数器是测量洁净环境空气中尘埃粒子的数量及大小、评价空气洁净度的专业仪器，它具有检测灵敏度高、可靠性好、成本低廉等优势，是现代超净环境检测的必要检测仪器。国际上对光学粒子计数器的研究始于上世纪20年代，并于上世纪50年代开始有产品问世，目前已发展至技术成熟、产品多样化的阶段，其中较为著名厂家包括美国HACH公司、TSI公司、PMS公司、日本加野公司等。与之相比较，我国在二十世纪七十年代才开始这类仪器的研制与生产，尽管目前已有多个公司或研究机构已成功研制出相关产品，但它们与国外光学粒子计数器相比还存在一定的差距。本论文在详细讨论光学粒子计数器原理及主要性能影响因素的基础上，综述了国内该类仪器的发展现状，分析与国外同类仪器差距的主要原因及改进方案，为我国光学粒子计数器的下一步发展提供思路。……