卓志国 ，周. ，施建国 ，冯.

（1.盐城工学院，江苏 盐城.24051；2.常州大学，江苏 常州.13164；3.安徽华菱汽车有限公司，安徽 马鞍山.43061）

LED用蓝宝石衬底抛光后湿法清洗研究

卓志国1，2，周.1，施建国3，冯.1

（1.盐城工学院，江苏 盐城.24051；2.常州大学，江苏 常州.13164；3.安徽华菱汽车有限公司，安徽 马鞍山.43061）

摘.：LED被认为是下一代主要照明工具，其以高质量的衬底基片外延GaN层，目前主要用化学机械抛光后的蓝宝石晶片作为衬底，但抛光后的衬底表面布满杂质，这些杂质会导致外延层缺陷，降低发光率甚至使器件失效。探讨了在蓝宝石衬底清洗过程中，HF、表面活性剂、氧化剂的作用。得出HF溶液对衬底表面的SiO2颗粒有很好的清除效果，不会造成蓝宝石衬底表面质量恶化，表面活性剂可以形成覆盖层降低衬底表面能，同时防止被去除杂质的再次附着，强氧化剂可以腐蚀衬底表面去除附着力较强的颗粒。在试验中通过不同清洗顺序发现表面活性剂形成的覆盖层也会对杂质产生保护作用。在使用表面活性剂后再使用HF溶液清洗，衬底表面颗粒数从18降为10，但表面存在腐蚀坑样的污染，在以表面活性剂、浓硫酸、HF溶液的清洗顺序清洗后发现表面颗粒数从20降至8，没有腐蚀坑样的污染存在，因此采用表面活性剂、浓硫酸、HF溶液的清洗顺序可以得到好的效果。

HF；氧化剂；表面活性剂；湿法清洗；蓝宝石衬底

1.言

LED（Light Emitting Diode）即发光二极管已被广泛认为是下一代主要照明工具，相比于现在使用的白炽灯而言，其具有寿命长、节能、安全等优点[1]。……