多通道高稳定性温度检测系统

2014-03-21李杰超闫卫平

仪表技术与传感器 2014年4期

关键词：检测

李　伟，李杰超，闫卫平

(大连理工大学电子科学与技术学院，辽宁大连　116024)

0　引言

平板微热管利用工作流体在其内部微槽道中产生的毛细力实现液体回流，通过汽液相变实现热量的传递。平板微热管具有体积小、传热效率高、稳定性好等优点，已经成为高热流密度芯片散热的潜在解决方案[1-2]。为精确检测沿热管轴向的温度分布，以便深入开展热管传热特性的研究，需要搭建检测灵敏度高、稳定性好、能实时检测及显示的多通道温度检测系统。

金属Pt具有正温度系数，与常规金属或半导体热敏电阻相比，Pt 薄膜电阻具有性能稳定、响应速度快、温度系数较大、线性度高等特点，已成为广泛采用的温度传感器材料[3-4]。利用磁控溅射技术直接在热管表面制备 Pt 薄膜电阻，可以减少由于温度传感器与热管接触不良而产生的温度测量误差，实现对平板微热管温度分布的实时精确检测。

Pt100温度传感器因其具有高稳定及高灵敏的特性，成为市场销售最为普及的温度传感器之一[5]。文中文首先利用Pt100温度传感器搭建了检测灵敏度高、稳定性好、体积小、可实时检测及显示的多通道温度检测系统，在此基础上改进设计了Pt 薄膜电阻的检测系统，并对两者的检测结果进行了对比。