夏侯海

(南京电子技术研究所， 南京210039)

0 引言

随着半导体材料和制造工艺的发展，毫米波单片集成电路的成熟度越来越高，毫米波器件应用也越来越广泛。新一代雷达、电子战、通信、导引头等电子系统要求工作在高频段，具备大带宽、小型化的特点，毫米波单片集成电路的发展为这些应用需求提供了实现的可能。在实际的工程应用中，为了保证系统的长期可靠性，采用毫米波集成电路制作的收/发模块需要满足气密性指标。与同轴电缆相比，低插入损耗的波导传输线在毫米波频段具有明显的优势，仍然是毫米波电子系统中主要的信号传输线［1］。因此，需要研究如何从模块内部气密地、低损耗地变换到波导接口。

微带-波导变换以其低损耗的优点已经被广泛地用于测试和评价毫米波单片集成电路性能，以及用于连接毫米波混合集成电路和波导器件。目前，常用的变换方法有:脊波导变换［2］、对脊鳍线变换［3］和探针变换［4-5］。为了在宽频带获得优良的射频性能，脊波导变换需要多阶台阶结构，在毫米波频段，对机械加工精度的要求苛刻，同时变换部分体积较大，不利于模块的小型化。对脊鳍线变换采用印制在介质基片上的平面电路过渡到波导腔中，在波导壁上需要一个开放的窗口便于介质基片的装配，很难保证毫米波收/发模块气密性工程应用指标。探针变换包括微带耦合型探针变换和同轴耦合型探针变换，前者的物理结构与鳍线变换类似，无法对波导壁的开放窗口进行气密处理，而同轴探针变换可以解决这个问题。……