童义平 赖秀红 黄秀娟

(惠州学院化工系，广东惠州516007)

0 前言

透明导电薄膜具有高可见光透过率和较低的电阻率,因此,既可以作为平面显示和太阳能平面电极材料,也可用在节能方面,如建筑玻璃表面,汽车玻璃表面等[1,2]。然而,传统的氧化铟锡(ITO)材料,因铟资源严重短缺而使成本高的问题越来越突出,因此,随着半导体产业的迅猛发展,发展新型透明导电半导体材料是必然趋势[3]。

目前,能替代ITO的透明导电材料有氧化锌铝(AZO)等[4]。在性能上，AZO能达到ITO的要求，其禁带宽度达到3.4eV，本征吸收为360nm(紫外区)，在可见光区有良好的透光性，且导电电阻率低，制备技术简单，原料便宜易得，无毒等特点，这使得AZO材料在薄膜太阳能电池领域中得到了广泛的应用[5]。

影响AZO应用的一个重要环节是其烧结致密化过程，即从粉体到超高致密度的靶材的过程。靶材的性能包括致密度、晶粒大小及均匀性、气孔大小及分布、电阻率等,这些性能都与靶材的烧结致密化过程密切相关。本文探讨空气环境下，AZO靶材的超高致密化工艺。

1 实验部分

1.1 仪器和试剂

主要仪器有：行星快速研磨机(XM-4型,湘潭湘仪仪器有限公司),电动振筛机(8411型，湘潭湘仪仪器有限公司)，箱式高温烧结炉(KSL-1800X型，合肥科晶材料技术有限公司)，单柱液压机(合肥合德锻压机床有限公司)。

主要药品有：氧化铝(分析纯，北京化学品有限公司)，氧化锌(分析纯，北京化学品有限公司)等。

1.2 AZO靶材超高致密化工艺方法

采用冷压成型-高温烧结致密的方法制备AZO靶材。……