张 喆 逯丹凤 祁志美

(中国科学院电子学研究所，传感技术国家重点实验室，北京100190)

1 引言

纳米多孔金(NPG)材料是近年来的一个研究热点，它具有比表面积大，化学稳定性好、导电能力强等优点，在表面增强拉曼光谱(SERS)、生化传感、光学成像、气体存储、燃料电池、隐形材料、催化反应及电化学反应等方面拥有巨大的应用前景.1-14此外，金与巯基(－SH)还可以结合形成稳固的Au－S配位键，15-17使其对含巯基的生化小分子的探测表现出卓越的性能.

目前，纳米多孔金的制备方法主要是脱合金法，1-13利用硝酸作为腐蚀液，经过一定时间的浸泡，合金中的银成分与硝酸反应溶解，保留的金成分经过原子重构形成具有三维无序孔结构的纳米多孔金薄膜.利用该方法制备的纳米多孔金薄膜已经应用于表面等离子体共振(SPR)传感研究，18-23然而这些研究大多采用市售的金银合金薄片，经脱合金后形成纳米多孔金薄膜，之后再转移到表面预处理过的玻璃基片上制成SPR传感芯片.此方法存在一些缺点，首先厚度小于100 nm的金银合金薄片受限于制作工艺而较难获得;其次将制备好的纳米多孔金薄膜转移至玻璃基片表面时容易损坏、成品率低;再次为了更好的使纳米多孔金薄膜与玻璃基片结合，需要预先对玻璃基片进行表面处理，增加了制备的复杂度.

本文提出了一种新的纳米多孔金薄膜制备方法.该方法首先利用射频溅射技术在玻璃基片上淀积数十纳米厚的金银合……