■ 邓勋明 曹新民 杜文会 胡志华 徐立微

（1. 迅力光能(昆山)有限公司；2. 美国迅力光能公司；3. 美国Toledo 大学）

一 引言

薄膜太阳电池按衬底可分为硬衬底和柔性衬底两大类。所谓柔性衬底太阳电池是指在柔性材料(如不锈钢、聚酯膜)上制作的电池，与平板式晶体硅、玻璃衬底的非晶硅等硬衬底电池相比，其特点是重量轻、可折叠、不易破碎。以不锈钢衬底为例，不锈钢的厚度仅为0.127mm，且具有极好的柔韧性，可以任意卷曲、粘贴，即使数百次卷曲，电池性能也不会发生变化。由于柔性薄膜电池具有可弯曲性，可以安置在流线型汽车的顶部，帆船、赛艇、摩托艇的船舱，居民房屋屋顶等不平整表面，市场前景光明。从制备工艺上看，由于此结构电池采用卷对卷工艺制造，便于大面积连续生产，降低成本的潜力较大，具有较强的市场竞争力。

美国迅力光能公司于2008～2010年自主创新设计、成功开发建成全套宽幅(91.4cm)不锈钢基底卷对卷薄膜硅电池商业化生产的设备和技术。迅力光能(昆山)有限公司将对该先进技术和设备进行引进，并消化吸收和提高。

二 宽幅高集成卷对卷制造技术

迅力光能公司研发建成25 MW锗硅薄膜PECVD沉积与ITO薄膜溅射沉积卷对卷电池商业化生产线(见图1)。该公司自主开发的宽幅 (91.4cm)不锈钢基底卷对卷薄膜硅电池生产技术是目前世界上最大幅宽、并成功实现商业化、产业化的薄膜光伏技术。同时迅力光能公司独有的工艺技术和核心工程技术，使其成为首……