何 平，曹胜梅，李 岐，华 楠

(哈尔滨工业大学航天学院控制科学与工程系，哈尔滨150001)

随着塑料薄膜以及以薄膜为主要辅助材料的其他产品在工业生产和人类生活中的广泛应用，薄膜的厚度越来越成为一个重要的物理性指标[1].薄膜的阻隔性能、机械拉伸性能以及生产加工成本等均与其厚度密切相关，因此薄膜厚度的测量一直是人们密切关注和不断研究改进的课题.

随着科技的进步和精密仪器的应用，薄膜厚度的测量方法也越来越多，按照测量方式可分为接触式测量和非接触式测量[2].接触式测量指应用测量工具通过接触直接感应出薄膜的厚度，常见方法有螺旋测微法、精密轮廓扫描法.这类方法不仅容易损坏被测对象，而且会带来人为操作误差.非接触式测量指根据一定的物理关系，将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度，从而达到测量薄膜厚度的目的，常见方法有超声波测厚法、射线测厚法及光透射测厚法等.其中光透射测厚法具有测量精度最高，设备维护简单，对被测对象没有选择性等优点[3].

本文设计了基于TMS320F2812的红外透射式薄膜厚度检测系统.系统通过高精度的传感器测量红外光透过薄膜前后光强的变化量，将其转换成电信号进行采集并处理，计算出薄膜的厚度传给人机交互界面，实现对薄膜厚度的实时检测.

1 红外透射式检测原理

红外透射式薄膜厚度检测原理如图1所示.

图1 红外透射式薄膜……