李 旭，何 飞，陈 波

（1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033；2.中国科学院 研究生大学，北京 100039）

透射光栅在众多科研领域得到广泛应用，如激光惯性约束核聚变装置［1－2］、X射线显微成像技术［3－6］和 X 射 线 空 间 探 测 装 置［7－10］。 通 过 透 射 光栅进行软X射线能谱的定量测量，必须确定其各级光谱的绝对衍射效率，通常采用两种方法:一是通过在足够多的X射线能量点进行衍射效率的实验标定，直接给出透射光栅各级衍射效率随入射X射线能量的变化曲线；另一种方法是结合透射光栅的结构参数，建立适当的理论模型，通过理论计算给出透射光栅的各级衍射效率。对透射光栅进行实验标定时，一般采用同步辐射光源作为标定光源，但这类光源目前在国内数量很少，无法满足需要。为了解决这一问题，我们采用激光等离子体光源作为实验光源，以凹面反射光栅作为色散元件组成了一套标定装置，对透射光栅在软X射线波段的衍射效率进行实验标定。在理论模型方面，通常透射光栅的衍射效率仅与光栅栅线的截面形状有关，而与入射光束的波长无关，但在软X射线波段，由于光栅栅线随着入射X射线能量的增加而逐渐变得透明，导致透射光栅衍射效率与入射X射线能量有关，同时也与栅线的截面形状有关，因此，矩形栅线模型和梯形栅线模型就有一定的不合理性。为此，本文采用透射光栅栅线为准梯形截面的计算模型［11］对透射光栅的衍射效率进行理论计算。……