杨要恩 ，孙幸成，王庆敏，3

(1.石家庄铁路职业技术学院机电系，石家庄 050041;2.石家庄铁道大学，石家庄 050043;3.北京交通大学机械与电子控制工程学院，北京 100044)

在现代工业测控领域，结构感知技术已经较初期有了很大的发展，不同原理、不同类型、不同测试结构的各种各样的传感器得到了广泛应用。而随着技术的不断发展，工业测控领域对传感器的采集精度、动态响应、抗干扰能力、可靠性、质量、成本及频带等都提出了更高的要求。但是，目前工业测控领域所使用的传感器尤其是在大型结构长期实时振动测试所用的加速度传感器方面，多采用惯性式位移传感器及配套的放大器进行结构振动加速度测试，其存在抗扰动能力差、易老化、可靠性差、动态响应慢、成本较高等缺点［1－3］，容易造成测试数据的失真，很难满足目前工业测控领域对结构参数进行长期、实时、在线自动感知的要求，以及对传感器成本低、耗电量小、质量轻、体积小等的节能减排的要求［4－5］。

为了满足结构对测试的要求，研发出一种基于MEMS 微机械加工技术(Micro-Electro-Mechanical Systems)的无线加速度传感器，并对其传感特性进行了研究。

1 无线加速度传感器的整体设计方案

相对于现有的分布式采集－有线数据传输－中央数据处理的传统结构振动测试架构，基于无线加速度传感器技术的分布式采集－无线数据传输－分布式处理的新一代结构振动测试架构系统采用模块化方法进行集成设计，具有测试精度高、稳定性好及实时性强的优点［6－7］。……