谢振民，陈 婧

(中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原 030024)

清洗设备在整个太阳能电池生产线上起到至关重要的作用。随着太阳能产业的生产规模不断扩大，对整套设备的功能、产量等的要求也越来越高。本文着重就单晶制绒和制绒后酸洗连体设备研究过程中的几个重要问题进行阐述。

1 单晶制绒原理

在太阳能电池生产中，制绒是晶硅电池的第一道工艺。对于单晶硅来说，制绒的目的就是延长光在电池表面的传播路径，从而提高太阳能电池对光的吸收效率。单晶硅制绒的主要方法是用碱（NaOH、KOH）对硅片表面进行腐蚀。由于硅片的内部结构不同，各向异性的碱液制绒主要是使晶向分布均匀的单晶硅表面形成类似“金字塔”状的绒面，有效地增强硅片对入射太阳光的吸收，从而提高光生电流密度。对于既可获得低的表面反射率，又有利于太阳能电池的后续制作工艺的绒面，应该是金字塔大小均匀，单体尺寸在2～10 μm之间，相邻金字塔之间没有空隙，即覆盖率达到100%。理想质量绒面的形成，受到了诸多因素的影响，如硅片被腐蚀前的表面状态、制绒液的组成、各组分的含量、温度、反应时间等。而在工业生产中，对这一工艺过程的影响因素更加复杂，例如加工硅片的数量、醇类的挥发、反应产物在溶液中的积聚、制绒液中各组分的变化等。为了维持生产良好的可重复性，并获得高的生产效率。就要比较透彻地了解金字塔绒面的形成机理，控制对制绒过程中影响较大的因素，在较短的时间内形成质量较好的金字塔绒面。……