彭小兰，王红成，张绍强

（东莞理工学院，广东东莞523808）

电子散斑干涉法测量金属表面受热变形的相关物理特性探究

彭小兰，王红成，张绍强

（东莞理工学院，广东东莞523808）

首先简要介绍了激光电子散斑干涉测量的原理和激光散斑的物理特性,基于这一基本原理搭建了实验平台，实现了对金属受热形变的测量,在现有条件下提出了对测量光路的改进，并依据该实验改进了检测零件面对面的平行度方法.

激光电子散斑；物理特性；标准偏差

1 引言

随着航空航天技术、雷达技术、激光微电子技术、计算机技术等新技术的快速发展，要求机械加工的精度也越来越高，由此形成了一门新的制造系统工程——精密工程.在这一制造系统工程中，测量技术是实现精密加工的前提和基础.在此背景下，如何准确测量由于金属表面受到各种外来因素影响造成的形变具有重大实用价值.随着计算机的普及和应用，激光电子散斑术也就应用而生，它较传统测量方法而言的优势是，它把散斑技术、激光干涉技术、图像处理技术结合起来,利用高精度的计算机图像采集和处理系统来测量和采集干涉图样.电子散斑干涉技术是在激光、视频、电子及数字图像处理等基础上发展起来的现代光测技术，在非接触条件下能够测量物体表面微小形变，具有高精度、全视场、实时测量等特点.

本文通过对一些激光散斑实验的观察，综合其特有的物理特性结合相关……