吴 頔，吕且妮，陈 曦，葛宝臻

(1. 天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津 300072；2. 光电信息技术教育部重点实验室，天津 300072；3. 天津大学电气与自动化工程学院，天津 300072)

差分激光三角法油膜厚度测量传感器的测量范围与精度分析

吴 頔1,2，吕且妮1,2，陈 曦3，葛宝臻1,2

(1. 天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津 300072；2. 光电信息技术教育部重点实验室，天津 300072；3. 天津大学电气与自动化工程学院，天津 300072)

针对所研制的海面溢油油膜厚度测量传感器的测量范围和精度进行了研究．在分析基于垂直入射差分激光三角法油膜厚度测量原理的基础上，分别采用厚度0.1,mm的塞尺和10,mm的陶瓷量块对传感器的测量上下限进行了验证，并采用厚度为1～10,mm的0级陶瓷量块对传感器进行了精度测量和分析．结果表明，所研制的油膜厚度测量传感器的范围为0.1～10,mm，测量相对误差小于1%．

激光三角法；垂直入射；油膜厚度；测量范围；精度

海上溢油污染已成为海洋主要污染源之一，油膜厚度是估算溢油量的关键参数．目前提出的油膜厚度测量方法主要有两类，一类是建立溢油扩展数学模型，利用模型来估算油膜的厚度[1]；另一类是基于电学法[2]、声学法[3]、微波法[4]和光学法[5-13]等测量原理得到油膜厚度，其中的光学方法主要有荧光诱导法[5-7]、干涉法[8-9]、全息干涉法[10]和激光三角法[10-14]等．针对海面溢油油膜会随海水波动的特点，笔者研

制了基于垂直入射的差分激光三角法的油膜厚度测量传感器系统样机．其原理是……