光谱仪器用于定性分析方法有以下几种：

(1)比较光谱分析法：这种方法应用比较广泛，包括标准试样比较法和铁谱比较法。标准样品比较法一般适用于单项定性分析及有限分析。铁谱比较法不但可以做单项测定还便于做全分析。

(2)谱线波长测量法：光谱分析仪器利用谱线波长测量法进行定性分析时先测出某一谱线的波长，再查表确定存在的元素，这种方法在日常分析中很少使用，一般只是在编制谱图或者做仲裁分析时才用。

一般光谱分析仪器定性分析可以分析元素周期表上的70多种元素，由于受到仪器和光源条件的限制有些元素如非金属及卤族元素等则需要在特殊条件下才能测定。

光谱仪器定性分析的样品可以是多种多样的，所以光谱定性采用的方法各不相同，对于易导电的金属试样可以将试样本身作为电极直接用直流电孤或交流电孤光源分析。有时为了不损坏试样也可以采用火花和激光显微光源分析。对于有机物一般先进行化学处理，使之转化成溶液用溶液残渣法测定，也可以灼烧、灰化将试样处理成均匀的粉末装在碳电极孔中用直流电孤或交流电孤光源分析测定。