洪布双 苑 涛 邹帅 唐中华 徐东升虞一青 王栩生 辛 煜†

1)(苏州大学物理科学与技术学院，江苏省薄膜材料重点实验室，苏州 215006)

2)(苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，苏州 215011)

(2012年9月10日收到;2012年12月5日收到修改稿)

1 引言

电负性气体如O2，Cl2和SF6在负离子辅助刻蚀和离子注入等多种等离子体工艺及半导体工业中有着极其广泛的应用[1].电负性等离子体定义为那些具有电子吸附性的气体，含有一定的负离子密度并且需要考虑在内的等离子体.负离子产生于等离子体的电子俘获或电荷转移过程，等离子体内部反应过程如中性粒子或离子之间的反应等也是负离子产生的重要因素[2].由于所含负离子的不同造成不同电负性气体间的性质与电负性的差异，同时负离子的加入会使等离子体的平衡结构和输运性质变得非常复杂，使得人们对电负性等离子体的研究非常感兴趣.目前，比较成熟的等离子体参数的测量方法是采用朗缪尔静电探针法，因为静电探针结构简单、使用方便且具有良好的空间分辨率.但传统的静电探针广泛的应用于电正性等离子体的测量中，在电负性等离子体中，负离子的加入影响了探针表面的鞘层结构[3]，加重了探针I-V曲线的解读难度，从而按常规程序得到的测量结果难以如实反映等离子体的真实特性.为此，我们从两个方向对朗缪尔探针的测量数据进行解读分析，并对测量结果进行了优化与修正：1)由朗缪尔探……