邓 莹，邓 玲，涂铭旌

（1.重庆文理学院，重庆 永川 402160；2.重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室，重庆 永川 402160；3.成都成量集团硬质合金工具厂，四川 成都 610031；4.四川大学 材料科学与工程学院，四川 成都 610065）

0 前言

扫描电镜SEM作为一种检测手段，为检验提供了一个可靠的系统解决方案，不仅可以直观地反映产品的外观形貌，还可以反映出诸如粒度分布、分散性等重要物理性质，并且，还能进行成分和元素的分析，不但具有强大的图像处理分析功能，还能广泛连接各种标准或非标准探测器，拓展成为可靠的分析型电镜，实现用户对材料的全方位微观分析［1］。目前，SEM已在高校和科研院所得到广泛的应用，但要在生产和工艺控制中使用SEM，充分发挥它的作用，在工厂还需加强应用。本文通过硬质合金生产工艺过程的实例，详细说明了扫描电镜在硬质合金工艺控制过程中的应用，从而为硬质合金生产工艺过程控制提供参考和借鉴。

1 SEM工作原理

扫描电镜结构原理图如图1所示。扫描电镜是电子光学、真空系统及电子控制装置的综合体；作为材料分析的必要手段，一般均配备能谱仪（EDS）和波谱仪（WDS）；扫描电镜是一种多功能的仪器，它可以进行如下3种基本分析：三维形貌的观察和分析；在观察形貌的同时，进行微区的成分分析；在观察形貌的同时，进行微区的结晶学分析［2］。

图1 扫描电镜结构原理图

2 SEM在硬质合金生产中的应用

硬质合金生产的过程控制，就是从粉末质量到成品质量的过程控制，合金的各个生产工序所得产品的形貌及微观结构（显微结构）的定性及定量分析是判定其使用性能的主要条件，只有掌握了产品的微观结构状态，才能够全面控制产品质量。……