薛 松，周 杰

(重庆大学材料科学与工程学院，重庆400030，E-mail:xuesongcd@163.com)

脱脂预氧化对注射成形碳化硅显微组织的影响

薛 松，周 杰

(重庆大学材料科学与工程学院，重庆400030，E-mail:xuesongcd@163.com)

为了揭示脱脂预氧化对粉末注射成形碳化硅显微组织的影响规律，制定最佳热脱脂工艺，采用空气热脱脂方法对碳化硅制品进行了脱脂(550～950℃).结果表明：随预氧化温度升高烧结制品气孔率先降低后增加，650℃预氧化脱脂坯烧结后气孔率最低;预氧化可以有效促进脱脂坯烧结收缩，但过高的预氧化温度易引起失重增加，650℃预氧化脱脂坯烧结后具有最高的真实密度(3.20 g/cm3)，高于未经预氧化直接烧结制品(3.18 g/cm3);烧结后试样由固相碳化硅与晶间液相组成，XRD及TEM能谱分析表明试样内部无残余氧化硅;随预氧化温度的升高烧结试样液相逐渐减少，液相的减少影响了氧化铝与氧化钇的比率，因此烧结试样未见明显YAG衍射峰出现;晶间液相阻碍了碳化硅晶粒间的扩散长大，制品晶粒平均尺寸小于1 μm.空气热脱脂可取代传统气氛保护热脱脂，预氧化温度应控制在550～750℃.

粉末注射成形;碳化硅;预氧化;微观组织

碳化硅陶瓷(SiC)具有耐磨、耐腐蚀、耐热震、高强度、高热导等优异的性能，在微电子工业、石油工业、化学工业、核工业等领域具有广泛的用途［1－3］.然而，其难加工性阻碍了该材料在许多领域的应用，其中以具有复杂形状的碳化硅制品最为突出.粉末注射成形因其自身优势已成为制备碳化硅复杂零件倍受青睐的一种工……