祝彦，丁振君，王芳，贾克军

（河北大学质量技术监督学院，河北保定 071000）

数字图像处理技术在干涉仪中的应用

祝彦，丁振君，王芳，贾克军

（河北大学质量技术监督学院，河北保定 071000）

利用CCD（charge－coupled device）对立式接触式干涉仪进行改装研制，变目视观察与判读读数为光电探测、自动瞄准、测量，把显微镜下的干涉条纹图像利用CCD采集后传输到计算机.结合数字图像处理技术，利用波长定度方法实现自动定度，双边直线拟合法自动确定0级干涉条纹中心的准确位置，并根据量块形成的0级干涉条纹中心偏移像素值计算量块长度.实验测试结果表明利用数字图像处理技术消除了人为判读差错的可能性，提高了工作效率，稳定可靠.

图像处理；CCD；自动定度；接触式干涉仪

随着计算机软硬件技术的迅猛发展，数字图像处理已成为学术研究及工程应用中一个非常重要的领域.数字图像处理是指利用计算机或其他数字设备对图像信息进行各种加工和处理，它是一门新兴的应用学科，其发展异常迅速，应用领域极为广泛［1］.采用基于图像处理的计算机视觉技术进行检测可靠性好，准确率高，可以提高检测精度、速度、自动化程度［2］.

1 系统原理及组成

系统是以CCD（charge－coupled device）图像传感器为主要元件构造而成，将CCD图像传感器安装在干涉仪目镜位置，被摄物体的图像经过镜头聚焦至CCD芯片上，CCD根据光的强弱积累相应比例的电荷，各个像素积累的电荷在视频时序的控制下，逐点外移，经……