郑开学 华陆工程科技有限责任公司 西安 710065

环境保护

三氯氢硅合成尾气回收方法探讨

郑开学*华陆工程科技有限责任公司 西安 710065

探讨三氯氢硅合成尾气回收方法，降低三氯氢硅生产成本，利于环境保护。

多晶硅三氯氢硅尾气回收

1 概述

多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池的关键材料，是发展信息产业和光伏新能源产业的重要基石。三氯氢硅又是生产多晶硅的重要原料，作为多晶硅生产工艺的重要组成部分，三氯氢硅生产成本和“三废”排放直接影响多晶硅的生产成本和环境。因此，改进三氯氢硅生产工艺对多晶硅生产有着重要意义。

当多晶硅生产采用热氢化工艺时，还原装置所需的三氯氢硅原料主要由三氯氢硅合成装置提供。随着多晶硅生产规模的扩大，“三废”排放量也越来越多，废水中的氯离子很难处理，这不仅使“三废”处理的费用高，也很难达到排放标准，因此各多晶硅生产企业一直在寻求“三废”处理的好方法。笔者认为，尾气回收利用则是有效的途径之一。

2 三氯氢硅合成工艺

2.1 生产方法

多晶硅的生产有氯氢化工艺和热氢化工艺。

目前，国内除江苏中能成功采用氯氢化工艺流程生产多晶硅外，其它多晶硅生产企业基本上均采用热氢化工艺，这两个工艺的区别是前者将三氯氢硅合成与四氯化硅加氢转化成三氯氢硅在一个流化床中完成，工艺装置闭式循环，没有尾气排出;后者三氯氢硅合成是在流化床中完成，四氯化硅加氢转化成三氯氢硅则是在氢化炉中完成，是开式系统，有尾气排出。……