曹 攀 ，李天祥 ，2，朱 静

［1.贵州大学化学与化工学院，贵州贵阳 550003；2.瓮福（集团）有限责任公司］

电子级硫酸制备工艺及发展现状

曹 攀1，李天祥1，2，朱 静1

［1.贵州大学化学与化工学院，贵州贵阳 550003；2.瓮福（集团）有限责任公司］

电子级硫酸广泛应用于大规模集成电路（IC）、半导体等微电子工业，用作清洗和蚀刻剂。随着中国微电子工业的高速发展，电子级硫酸的需求量日益增加，电子级硫酸有着良好的应用前景。介绍了电子级硫酸的质量标准、生产工艺、检测手段、应用、包装技术，重点介绍了近年来电子级硫酸制备技术的改进，并对电子级硫酸的发展前景进行了展望。

电子级硫酸；质量标准；制备工艺；检测

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。目前，中国已成为世界IT工业和液晶显示器（LCD）需求增长最快的国家，2011年中国将成为世界重要的集成电路制造基地之一。“十一·五”期间，中国电子化学品年均增长率超过20%，2015年保守估计市场销售总额将达到400亿～450亿元，中国优势企业的竞争力正在不断增强，长期成长空间巨大，已成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一［1］。……