杨渊华 肖功亚 刁振国

中国电子科技集团公司第五十五研究所，南京 210016

SAW传感器

杨渊华 肖功亚 刁振国

中国电子科技集团公司第五十五研究所，南京 210016

本文主要阐述了SAW传感器的原理、分类及其特点。由于SAW传感器具有非接触、快速、无电源、抗干扰、易编码、保密性好、成本低等优点，目前已广泛应用于许多领域。本文详细地介绍了几款具有代表性的应用。

SAW；无源无线；谐振型；延迟型

SAW；Passive wireless；Resonance type；Delay type

引言

众所周知，声表面波(SAW)器件作为信号处理器件在现代电子信息技术中已获得广泛的应用。但SAW技术在信息敏感方面也表现出卓越的优势，如其灵敏度高、直接频率和相位输出、多参量综合信号转换能力、性能稳定、无源低功耗、且与半导体工艺兼容等特点，在个体识别、物理、化学、生物传感器系统中将有极大应用前景，被认为是SAW技术的又一产业化领域，近年来广受重视。

1 直接型传感器

直接型传感器，是指直接测量外界待测物理化学量对声表面波特性的干扰，达到获取待测量特征的传感器。例如，外界温度变化会使表面波速改变，使传感器的频率特性发生变化，而被通用电子仪器测量，从而推导出外界环境的温度变化。在传感器表面，制作一可吸附并可解吸某气体的敏感介质层，当传感器置于该气体微量气氛中，次敏感层会对在其下方传播的声表面波产生干扰，导致传感器特性发生变化，从而达到测量该气体特征的目的。

直接型传感器的结构有两种：谐振型和延迟线型，在无线传感节点应用中，用法与一般的传感器一样，必须另外结合有源射频收发电路。……