杨道奇，付秀华 ，耿似玉，杨永亮，潘永刚

(长春理工大学 光电工程学院，吉林 长春130022)

1 引 言

可见/近红外光谱分析具有信息量大、测试种类多、无损测试等优点，在分析测试领域得到了越来越多的关注。现代可见/近红外光谱分析技术可充分利用全谱段或多波长的光谱数据进行定性或定量的分析［1］，具有速度快、测试重现性好、测量方便等特点，已广泛应用于食品、农业、石油化工和制药等领域。

透射式光谱分析技术( NIT) 是通过分析透射光和入射光强的比例得到测试对象在可见/近红外区的吸收光谱。由于可见/近红外区的低吸收系数对仪器的噪音要求非常严格，故在其探测器窗口上镀制增透膜对提高系统能量和探测效率将起到非常重要的作用。通常可见/近红外增透膜应用波段为400 ～1 400 nm，且往往只是对其中的某些波段有较高的透过率要求，对全光谱范围的透过率要求并不高，如在光纤端面镀制的1 064 nm增透膜。针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求，本文研制了0.6 ～1.55 μm 超宽带增透兼三波段透过率均大于99%的薄膜，重点解决了膜层牢固性、透射带宽、膜厚控制及薄膜吸收等问题。

2 材料选择与膜系设计

根据光谱仪探测器窗口的要求，具体的膜系设计参数如表1 所示。

表1 膜系设计参数Tab．1 Design parameters of the coating

2.1 材料选择

选择的薄膜材料应满足在0.6 ～1.55 μm 波段内透明，具有较小的吸收、散射特性以及较高的机械牢固度和化学稳定性等，同时要考虑膜层之间及膜层与基底材料之间的匹配问题，避免应力集中，保证膜层之间及膜层与基底之间结合的牢固性［2］。……