赵 阳 ，巩 岩

(中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春130033)

1 引 言

对于一般的光学系统，只要光机系统设计合理，加工满足设计要求，装调方案可行，就能较容易达到像质要求。然而这种装调方法存在很大的盲目性，它要求装调人员具备丰富的实际操作经验，而且装调的周期较长，精度不是很高。对于有超高精度要求、成像质量接近衍射极限的光学系统( 如光刻物镜［1-2］、大口径望远镜［3-5］) ，其光机结构设计、加工、装调难度都很大，常规的装调方法无法满足像质要求，需要借助于计算机辅助装调技术降低系统装调的难度，指导装调人员有针对性地对系统各种像差进行补偿，最终得到满足要求的光学系统。

目前文献报道的计算机辅助装调方法主要用于大口径反射式光学系统［6-8］，由于光学元件数量较少，其位置误差—失调量的个数也少。例如较复杂的离轴三反光学系统［9-10］，它由主镜、次镜和三镜组成。主镜通常作为装调基准固定不动，整个系统的失调量由次镜和三镜的Z向移动、XY方向的偏心和倾斜共11 个参量组成。针对这些失调量，利用计算机辅助装调技术，可以得到相对应的补偿值，然后通过调节装置将失调元件调整到理论设计位置。计算结果表明: 在失调量不大的情况下，补偿量值和失调量值相接近，符号相反，表现出很好的收敛性和自洽性。然而，对于复杂的透射式光学系统，例如光刻物镜，镜片数量多达二十几片，失调量个数多达数百项，不可能逐一去调节。……