黎东升， 于光普， 尤传富

（长春工业大学 电气与电子工程学院，吉林 长春 130012）

0 引 言

目前，电涡流传感器广泛地应用于位移、振动、转速等方面的测量，传感器对数据测量的准确度直接影响着控制电路的精确性，因此，对电涡流传感器灵敏度的研究有着十分重要的意义。

文中介绍了电涡流传感器的工作原理，并分析了影响其灵敏度与线性度的因素，通过改变测量电路结构和改变探头尺寸来提出改善电涡流传感器灵敏度的方法，观察灵敏度提高后对传感器线性度的影响。

1 电涡流传感器的工作原理［1－3］

由电磁感应原理可以得出，当导体位于交变的磁场时，导体中将会产生感应电流，感应电流呈涡流状，感应电流闭合并集中在导体表面，这一效应称之为涡流效应。电涡流传感器就是利用涡流效应进行测量的一种传感器。

电涡流传感器主要分为3部分：探头、延伸电缆和前置器。工作时，前置器中会产生高频交变的电流，这一高频交变电流通过电缆流到传感器的探头，并在探头的线圈中产生磁场。

探头与被测导体示意图如图1所示。

图1 探头与被测导体示意图

从图1可以看出，当传感器探头线圈中有高频交变的电流流过时，会在线圈的周围产生交变的磁场μ1，当探头线圈与被测导体之间的距离改变，导体表面会产生一个交变磁场μ2，μ2的方向与μ1相反。由于磁场μ2的作用，传感器探头线圈中电流的幅度和相位也会发生变化，电流的变化会引起探头线圈等效电感值的改变，从而改变探头线圈的品质因数Q。……