陈静允刘宗健周环郑遗凡

（1.浙江工业大学 化学工程与材料学院，浙江 杭州 310014；2.浙江工业大学分析测试中心，浙江 杭州 310014）

新材料

强碱－阳极氧化法处理Ti片制备TiO2薄膜的研究

陈静允1刘宗健1周环2郑遗凡2

（1.浙江工业大学 化学工程与材料学院，浙江 杭州 310014；2.浙江工业大学分析测试中心，浙江 杭州 310014）

本文利用强碱－阳极氧化法对钛片进行改性，制备TiO2薄膜；用扫描电镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）考察了不同电解液浓度下氧化电压对TiO2氧化膜形貌及组成的影响。结果发现，在本实验条件下，该法制得的氧化膜是由三种钛氧化物组成的，主要成分是TiO2，此外还有低价钛氧化物Ti2O3及TiO；氧化电压的不同会对薄膜形貌产生重要的影响，当氧化电压较高时，氧化膜的厚度比较厚且致密；钛表面生成氧化膜大致过程可概括为：Ti→TiO→Ti2O3→TiO2，其中TiO转为为TiO2的几率依靠电势的大小及氧化时间的长短。

阳极氧化；二氧化钛；扫描电镜；X射线光电子能谱

钛及其合金因其独特性能，已经被广泛应用于生物医学领域[1-3]及用作良好的光催化材料[4-6]。由于固有的一些缺陷，钛及其合金并不能满足所有的应用需求，所以常常采用表面改性技术[7-9]。阳极氧化法对钛及其合金进行改性的主要优势在于能够提高钛及其合金的附着力和粘结力，可广泛用于航空航天领域。目前，利用阳极氧化法对钛及其合金进行改性时多以酸或盐类作为电解液，以碱性溶液（尤其是强碱）做电解质的阳极氧化还没有被广泛研究。为……