柯曾，张同荣

（重庆三阳化工有限公司，重庆万州404000）

三氯氢硅合成炉运行总结

柯曾，张同荣

（重庆三阳化工有限公司，重庆万州404000）

分析了影响三氯氢硅合成反应效果的因素并对合成炉的技术改进提出了建议。关键词：三氯氢硅；流化床；料层；气速；硅粉粒度；反应温度

三氯氢硅是重要的化工原料也是氯碱企业重要的耗氯、耗氢产品。重庆三阳化工有限公司1.5万t/a三氯氢硅项目于2010年6月投料试车，经过探索和调整运行参数，使装置突破了设计能力，产品质量居于国内同行业先进水平。

1 工艺流程简述

硅粉和HCl主要进行如下反应。

Si+3HCl=SiHCl3+H2+209.34 kJ/mol

副反应：Si+4HCl=SiCl4+2H2+240.32 kJ/mol

Si+2HCl=SiH2Cl2（微量）

氯化氢与硅粉在三氯氢硅合成炉内反应生成三氯氢硅、四氯化硅、氢气等。混合气体经除尘、冷凝、捕集后，大部分氯硅烷在隔膜压缩机前先冷凝下来，进入机前计量罐中，未冷凝的少量氯硅烷、氯化氢和氢气进入隔膜压缩机加压冷凝器、捕集后，液体经机后计量罐进入中间产品贮罐，不凝气在机后冷凝器与加压后的气体换热后，送尾气变压吸附回收系统。

合成炉采用流化床反应器，预先将硅粉加入到合成炉，加热到所需温度后，从底部连续通入氯化氢气体，产物及未反应物料被连续输出，经除尘精制分离后，生产出三氯氢硅和副产品四氯化硅。

2 影响流化床反应效果的因素及分析

2.1 料层高度的影响

流化床的起始流化速度是指刚刚能够使粒子流化起来的气体空床速度。床层压降ΔP随着空床流速UD而改变的情况，见图1。……