彭益文，曾和平，余 力

(华南师范大学化学与环境学院，广东广州510006)

ZnO是一种纤锌矿结构的Ⅱ-Ⅵ族化合物，常温下其禁带宽度为3．37 eV，激子束缚能60 meV，在可见光区具有高的透光率．近年来，为了改善其性能，单掺杂如铝掺杂ZnO(AZO)、镓掺杂ZnO(GZO)和钛掺杂ZnO(TZO)等［1-3］．纳米透明隔热薄膜在保证可见光透过率高的同时，反射红外线热辐射，减轻室内用电负荷;采用共掺杂技术［4-6］，提高透明薄膜的可见光透过率和屏蔽紫外能力，研究者们探讨了Al-Mn共掺杂ZnO薄膜［7］，Ga-B共掺杂ZnO薄膜［8］，Zr-Al共掺杂 ZnO 透明导电薄膜［1］，Ge-Al共掺杂导电薄膜［9］，Y-Al共掺杂导电薄膜［10］，Al-F共掺杂导电薄膜［11］等，至今未见 Ce-Al共掺杂ZnO(Ce-AZO)透明导电薄膜的研究报道．

制备Ce-AZO透明薄膜的方法，主要有溶胶-凝胶法［12］、磁控溅射法［13］、脉冲激光沉积法［14］、喷涂热分解法［15］，化学气相沉淀法［16］，其中溶胶 - 凝胶工艺是一种高效的纳米材料制备技术，用它制备纳米薄膜具有薄膜均匀性好、对衬底附着力强，易于精确控制组分的化学计量比和掺杂改性，适于大面积制膜和批量生产，设备简单，成本低等优点［17］．本文以溶胶-凝胶法在普通玻璃基底上制备出了不同铈-铝共掺杂浓度的ZnO透明薄膜，探讨了Al掺杂摩尔分数为4%时的AZO薄膜的光学性能，选取含4%Al掺杂摩尔分数来研究Ce掺杂摩尔分数、镀膜层数、pH值以及退火温度对Ce-AZO薄膜光性能的影响．

1 实验

1．1 药品及仪器

二水合乙酸锌［Zn(CH3COO)2·2H2O，AR］，乙二醇甲醚［CH3OCH2CH2OH，AR］，九水硝酸铝(Al(NO3)3·9H2O，AR)，乙醇胺(C2H7NO，AR)，无水乙醇(CH3CH2OH，AR)，六水硝酸铈(Ce(NO3)3·6H2O，AR)，乙二醇(C2H6O2，AR)均市售．SX2-4-13马弗炉(武汉亚华电炉有限公司)，CQX2506超声波清洗机(上海……