EDWARDS尖端尾气处理技术新突破

全球领先的真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司宣布达到具有重大意义的里程碑——自20年前进入市场以来，公司销售的尾气处理系统超过了10,000台。虽然大多数尾气处理系统销售予半导体行业的客户，但在平板显示市场，以及太阳能和化合物半导体等新兴市场中，Edwards的销售量也不断增长，从而帮助公司达到这个里程碑。

Edwards排气管理系统产品经理Steve Cottle称：“业界对环境和气候变化日益关心，这促使人们更多地意识到，需要减少排放各种可能的有害工业副产品。作为尾气处理技术的领导者，Edwards一直专注于为客户提供具有极低运营成本的高效尾气处理系统。”

塔式气体反应器（gas reactor column）是Edwards的首个尾气处理产品，销售数量已经超过3,000台，这些产品仍然用于氮化镓和其他研发应用。然而，所销售的大部分尾气处理系统一直是公司的内置点火燃烧腔（inward fired combustor）产品系列，包括TPU以及Atlas系列产品。由于这些系统具有经过生产验证的性能和极好的可靠性，在过去十年里，Edwards的内置燃烧腔产品已经成为最畅销的燃烧尾气处理系统。

在地域方面，美国仍然是Edwards公司这些系统的最大市场。然而，亚太地区的高科技制造快速增长且环保法规要求日益严格，二者结合推动Edwards在亚太地区实现显著增长。

Cottle表示：“我们非常高兴达到这个重要的里程碑，Edwards依然专注于为客户提供满足其制造需求的尖端尾气处理技术。”

（隽科）