程晓芳

(陕西国防工业职业技术学院，陕西西安710300)

微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技术，特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代具有巨大的影响。

1 微电子技术的发展历史和现状

微电子技术是19世纪末，20世纪初开始发展起来的新兴技术，它在20世纪迅速发展，成为近代科技的一门重要学科。其发展史实际就是集成电路的发展史。

衡量微电子技术发展的重要标志是大规模集成电路的集成度，至今为止微电子技术的发展基本上都在遵循着“摩尔定律”，即单个芯片上的器件数每18个月增长1倍，DRAM储存量3年提高到原来的4倍，其发展历程如下。1947年底，美国贝尔实验室研制成了世界上第一个晶体管，微电子技术开始萌芽。体积微小的晶体管使集成电路的出现有了可能。之后，美国得克萨斯仪器公司的基比尔于1958年制成了第一个集成电路的模型，1959年德州仪器公司宣布发明集成电路。同年，美国著名的仙童子公司将一整套制造微型晶体管的“平面工艺”移到集成电路的制作中，很快集成电路由实验室实验阶段转到工业生产阶段。1962年MOS场效应管试制成功，1964年成功制出PMOS集成电路。与分立元件电路相比，集成电路的体积大大减小，同时功耗低，可靠性好，工艺简单，更适合于大量生产。

至今集成电路的集成度已提高了500万倍左右，特征尺寸缩小了近200倍，单个器件成本下降了约100万倍，单片集成度达到数亿个晶体管。……