张 静，水铭旗

(中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032)

1 引言

随着半导体集成电路事业的飞速发展，对半导体集成电路的性能要求越来越高，为了保证集成电路的质量，半导体集成电路的测试技术就非常重要。半导体集成电路的测试主要包括功能测试、静态参数测试、动态参数测试。这些参数是用来衡量电路功能、性能是否符合规范或者用户要求的指标。现简单介绍一下静态参数的概念、基本测试原理及方法。

2 静态参数简介

静态参数测试是检验电路中晶体管开关闭合的状态是否正确的指标，电路基本逻辑实现后，是否可以应用到具体设备上，是否符合用户需求，还要看其静态参数是否符合要求。

静态参数也叫做直流参数，现介绍几个主要的静态参数:

(1)输入高电平电压VIH，输入低电平电压VIL

定义:使输出端电平为规定值时，输入端所施加的最小高电平电压为VIH。

使输出端电平为规定值时，输入端所施加的最大低电平电压为VIL。

(2)输出高电平电压VOH，输出低电平电压VOL

定义:输入端在施加规定的电平下，使输出端为逻辑高电平H时的电压为VOH。

输入端在施加规定的电平下，使输出端为逻辑低电平L时的电压为VOL。

(3)输入高电平电流IIH，输入低电平电流IIL

定义:输入端在施加规定的高电平电压VIH时流入器件的电流为IIH。

输入端在施加规定的低电平电压VIL时流出器件的电流为IIL。

(4)输出高电平电流IOH，输出低电平电流IOL

定义:输入端在施加规定的电平使输出为高电平H时，输出端施加规定的电平下流出器件的电流为IOH。……