贾 彬，段 超

（中国空间技术研究院 宇航物资保障事业部，北京100094）

0 引言

统计过程控制（statistical process control，SPC），是指用统计技术对生产过程的各个阶段进行评价和监控，该方法目前较为成熟地应用于各行业大规模生产过程中，军标生产线普遍使用SPC作为品质控制工具对关键生产工艺进行质量控制。由于航天产业的特殊性，大规模生产线较少，因此SPC在航天产品的研制工作中较难具备应用条件。但作为元器件质量保证单位，一方面面对型号用户需求，须提供高品质的元器件质量保证服务；另一方面面对的是元器件生产厂，对他们提供的产品需代表用户方进行二方审查监督，因此有必要了解SPC的原理并用其指导工程实践。目前元器件质量保证试验工作中采用SPC数据统计控制进行分析处理的工作还不成熟，仅对生产厂提供的SPC控制结果进行检查已不能满足全面质量控制的要求。本文重点站在二方审查角度，通过使用SPC方法对航天元器件生产厂提交产品在元器件质量保证试验过程中进行统计控制，提出对航天常用元器件的关键工艺实施SPC具有现实的实践意义。

航天用元器件的键合丝如果在轨发生断裂、脱落，将直接影响整个集成电路的功能输出，进而影响整个单机产品乃至整个卫星的在轨使用。因此，对于集成电路的键合工艺将作为关键工艺进行工艺水平控制，这就使得采用SPC进行数据监控尤为重要。本文拟通过对宇航用户委托质量保证单位进行的某集成电路破坏性物理分析（简称DPA）试验项目中的键合剪切强度为数据源，以SPC理论中的-R原理为理论基础，提出对航天常用元器件的关键工艺进行 SPC，从而建立科学的预警模型的有效方法。……