谢影，付秀华，贾宗合，马放，唐昊龙，田野

（1.长春理工大学 光电工程学院，长春 130022；2.东莞光阵显示器制品有限公司，东莞 523000）

非球面加工应根据工件材料、形状、精度和口径等因素的不同，采用不同的加工方法。如对于铜、铝等软质材料，可采用单点金刚石切削进行超精密加工，对于玻璃、陶瓷等硬脆材料，则主要是通过超精密磨削、研磨和抛光进行加工［1-3］。

微晶玻璃［4］是一种新型光学材料，又称玻璃陶瓷，它具有结晶的结构，而它的结晶结构要比陶瓷细得多，这种特殊的制造工艺最后使得微晶玻璃非常均匀而且致密，整体在某一温度区域的膨胀系数达到或接近于零，故称这种玻璃是具有零膨胀系数的玻璃。它还有许多宝贵的特殊性能，如机械强度高，硬度及耐磨性高，重量轻，热稳定性好，介电常数高，在高频高温下介电损失系数小等。随着光学、光电子技术的发展，微晶玻璃已在很多领域得到了广泛的应用，如天文望远镜、激光陀螺系统中的反射镜基片等。

1 理论加工模型

光学加工的过程与机械加工相比更加复杂，影响抛光的因素很多，如压力、时间、速度、抛光液、温度等，和表面去除量有关参数之间的确定性数学关系很难确定，现在被人们普遍接受的表面材料去除的数学模型是Preston方程，为：

其中：k是与被加工材料、工艺参数等有关的系数；p是表面上某一点在t瞬时与研具间的压力；v是该点在t瞬时与研磨盘的相对运动速度；dR/dt是单位时间内材料去除量。……